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最终，在上头的有意促成之下，包括星远在内，一共九家企业加入了这个光刻机制造联盟，成立了一个叫做华夏芯片联盟的机构。
除了这九家企业的研发人员，还有一批来自各大研究所的科学家。
星远虽然出资不多，人员方面也不是最强的，但是仗着拥有最核心的技术，所以独占了40%的份额，其他八家一共占据了60%的股份份额。
大家一起出资，出技术，出人力，以最快的速度把厂房和研究所弄出来。
其实其他几家并不在乎份额啥的，他们就想要技术，想要光刻机，一旦有了光刻机，他们不仅能在技术层面实现巨大的突破，也能大幅度的提高生产效率。
没有光刻机也能生产加工芯片，蚀刻技术有好几种呢，但是效率都没有光刻机好，而且生产出来的芯片质量也没那么好。
目前世界上只有ASML出售的光刻机，价值上亿美金。
中芯就曾经订购过一台，可惜迟迟不发货，等到他们发货的时候，估计技术都被彻底淘汰了。
现阶段芯片联盟研发的这种属于28n程芯片蚀刻工具。
从技术上，要落后于目前ASML出售的最高端光刻机产品，但是对于大部分的国内芯片制造加工企业这已经足够用了。
现在主流芯片也就28n
总而言之一旦芯片建模能把光刻机造出来，国内这边肯定不愁卖。
事实也正是如此，芯片联盟刚成立，星远这边十二英寸晶圆厂才开始建设，就已经接到了国内一些手机品牌的芯片订单。
还有主要涉及监控芯片和路由器芯片等领域，拥有很多技术专利的华兴微电子，他们也下了订单。
甚至连做无人机起家的大疆，和做集成集成电路起家的华通也下了订单。
......
当然了，随着华夏这边芯片联盟的成立，关于华夏要自己制造光刻机的事情就被传到了国外。
ASML那边第一时间就提出了质询，他们认为星远利用非法手段从他们公司窃取了技术资料，不然以星远为主的芯片联盟不可能制造出光刻机，为此他们将保留采取法律手段的权力。
之所以仅仅只是质询，主要是他们不信芯片联盟这边能造出光刻机来，而且他们在得到芯片联盟要制造光刻机的消息后，已经提前去检查了他们的资料，没有被动过的痕迹。