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拿命搞科研,我直接无敌了

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第25章 我们龙国,真的出了一条真龙啊(2/2)
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到他的诉求后。

    也是很快的就特派人员来办理了。

    其实,龙国对于国内光刻机产业一贯是大力扶持的态度。

    这点拨款给龙精科七个多亿这方面就能看出来。

    他们也希望龙精科能够快速的加入上市公司的行列。

    可评估状况实在是不太理想。

    虽有心,却无力。

    毕竟他们也要对投资者们负责。

    而这一次,拥有了如此底蕴的王牌的龙精科。

    自然是顺利过关了!

    “小菁,通知一下主管部门,加快新的双工作台制造设备和流程进度…”

    “另外,要把所有能够用到的,空余的力量都投入进去。然后…”

    看到李天彦突然直直的盯着自己,张青菁仿佛意识到什么一样。

    手中的动作也停了下来。

    “然后,我们就去吃高级的高卢料理,正好我知道很远的地方有一家特别好吃…”

    “这是我答应你的!”

    …

    然而,当这个世界上的所有龙国人几乎都是喜悦的时候。

    我们的主角,王为!

    却陷入了与第三个任务:10n源系统的纠缠中。

    事实上,凭借昏迷前的认知。

    他一直以为镜头是整个光刻机中最难制造的部分。

    而系统之所以将光源放在最后的原因。

    多半是由于它需要用到高抛光度的镜头而已。

    可随着相关所有知识一股脑的涌入。

    王为才知道,这也相当的不简单呐!

    难怪阿麦斯的最新一代euv光刻机,即使20亿一台,都供不应求。

    每一部分所需要的零部件都代表着世界上最顶级的技术,极难生产出来!

    量产更是遥遥无期!

    年产量最多不超过60台的它,简直要比那些限量版跑车还要抢手!

    要知道,高能光源是实现大规模量产并降低成本的前提和保障。

    而且,由于要同时满足euv光刻胶对分辨率和线宽粗糙度的需求,光源的功率需要不断提高。

    功率>115的光源可以确保涂有敏感度为5光刻胶的硅片的产能>100片/h,而对于敏感度达到10的光刻胶就需要180的光源而敏感度高于20的光刻胶甚至需要200以上的光源以满足量产需求。

    由此可知,为了满足未来euv光刻技术的发展需要,其光源结构也必须能够支持升级换代。

    目前euv曝光光刻设备使用的是两种光源。

    一种叫dpp,是低功率辉光放电等离子体光源,另一种就是lpp,也就是激光等离子体光源。

    前者不能够满足大规模量产的需求,而后者由于其具备高功率输出的优势最有希望担负起euv光刻技术量产的大任。

    进而继193n没式光刻技术后成为s制造领域的主流光刻技术。

    euv光源要能够达到实用,在照明系统的入口处,在波长为13.5n宽为2%的范围内,需要115的euv输出功率。

    但系统所发布可是极紫外线波长为10n光源系统。

    毕竟,波长越短,能量就越大。

    这是一个常识!

    无疑,这可以进一步提高输出功率从而提高输入功率。

    最后得到高转换效率的实现。

    不过相应的,也就增加了王为研究的难度。

    这让他禁不住自顾叹气道。

    “唉,难难难,任务之难…”

    “还是没睡一觉难!”
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