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图纸中,提供了一种全新的结构,那就是双束流反应室结构。即一路为水平气流携带化学反应的前驱物进入反应室,另外一路为垂直的气流从反应室自上而下进入。

    两股气流,一个是侧吹,一个是从上往下吹。自上而下的那股气流,就起到了压制GN分解的作用。

    原理说起来简单,但CVD的内部流体结构非常复杂,两股气流之间的相互关系,角度,速度,以及反应温度等,都需要通过多次试验,才能最后确定下来。

    在陈泉的“记忆”里,“他”大概花了一周多的时间,才把几个重要数据完全确定。

    “来,开始吧。”

    在陈泉的点头示意下,设备开始通电.....
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