返回

我已经随芯所欲了

首页
关灯
护眼
字体:
第一百三十九章:晶圆切割裂纹异常(2/2)
   存书签 书架管理 返回目录
    阅读提示:为防止内容获取不全,请勿使用浏览器阅读模式。

掏出了波导手机,手指点击了几下,给张凯峻发了一个短消息。

    “这么分析下来,晶圆切割裂纹的问题已经锁定到了减薄工序!”罗高工说道。

    “是的!”谢工点了点头。

    “减薄工序怎么会带来这么大的应力啊?”罗高工反问道。

    “这个回去还要从4M1E的角度排查一下!”谢工回答道。

    “谢工,你们减薄使用的磨轮金刚砂颗粒直径是多少?”辛佟抬起头来问道。

    金刚石颗粒直径?这问题好专业啊!辛佟没有干过减薄,他是怎么知道的?罗高工无比惊讶,难道辛佟是一个工艺天才?

    姜华也非常震惊,老同学跟天王级别的高手讨论起工艺问题,竟然一点儿也不落下风啊。

    “目前我们减薄分两次研磨,粗磨使用325#的磨轮,精磨使用900#的磨轮,换算下来,粗磨的金刚砂颗粒直径为44μ精磨的金刚砂颗粒直径为15μ”谢工对自己管控工序的工艺了如指掌。

    辛佟“喔”了一下,手指在手机上一阵翻飞,将信息发给了张凯峻。

    “辛经理问得对,我也觉得减薄的问题可能跟磨轮的选择有关!”经过辛佟的点拨,罗高工好像得到了某种启示一般。

    “我也这样怀疑!”谢剑风说道。

    “粗磨选用325#的磨轮,没有错,不过粗磨过后形成的损伤层大约为20μ右,粗糙度约为1.5μ精磨使用900#的磨轮,其损伤层大约为5μ右,粗糙度约为0.5μ这样的高低不平纹路,会造成应力集中,使后续工艺划片产生裂纹,我建议精磨采用2500#磨轮试试,假片做完之后测量一下翘曲度,如果翘曲度小于200μ你们安排切割验证。”辛佟非常自信地说道。

    这个辛佟真是太逆天了,对减薄工序的了解绝对在谢剑风之上啊,罗高工听了直点头,说道:“很好!”

    “好的,辛经理,我们按照你的要求再做一些假片验证!”谢剑风点了点头。

    他之前跟辛佟没有交集,不过听说过这个人,总觉得辛佟升职太快了,真没有想到他竟然如此专业,今日一见,佩服得五体投地。

    看着工程部老大和S天王对辛佟的分析连连点头,姜华也惊呆了,这么说老同学的本领已经超过这些顶级高手了?

    关键是他都没有在晶圆减薄工序呆过一天啊!

    昨天去减薄看了一眼,他就无师自通了?

    从会议室里出来,姜华拉住了辛佟,忍不住问道:“老同学,你不是干键合出身的吗?怎么对减薄也这么精通?”

    辛佟笑了笑,要不是刚才咨询张凯峻,他也一头雾水。

    不过,他不想将这件事告诉姜华,就随便忽悠道:“键合工序是王者工序,你干了键合再看其他工序,都很Lo了。”

    不是说隔行如隔山吗?

    老实说他姜华统管FOL所有生产工序,也看过减薄、切割、装片和键合,发现不同的工序之间差异其实还挺大的。

    “是吗?”姜华心中是将信将疑。
上一页 目录 下一章