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徐院士轻轻拭去眼角泛出的泪水,没想到他有生之年能看到3n光刻机出现,还是华国先做出来的。
一旁的罗甘看到徐院士的反应,有些愣愣的看向林曦月,“这是...成功了吗...”
林曦月笑着点点头,“嗯,成功了。”
随着她的宣布,研究室爆出一阵欢呼。
“老大!我们成功了!”
“我的天,我们真的做出来了!”
“3n光刻机,我看霉国还有什么话说!”
“对!谁稀罕他们的5n刻机啊!”
在众人的你一言我一语中,罗甘颤抖着手走上前,像是对待自己的恋人一般,轻轻地抚摸那台冰冷的机器。
国外的光刻机技术一直都很发达,华国的光刻机技术落后他们大约20年的时间。
所以在光刻机这方面的技术,华国一直被捏住喉咙。
加上霉国近年来一直试图联系何国各个公司,阻碍他们出口光刻机给华国。
因此在光刻机上的研发,迫在眉睫。
之前做出22n光刻机,已经足够让人兴奋的了。
虽然国外的技术超前,但是他们同样不得不在3n光刻机面前低头。
3n光刻机的最小工艺极限,或者说是euv光刻机的最小工艺极限。
最根本的原因来自于纳米光子工艺极限性,即使有多种技术来操纵光,euv光刻机的波长极限就是13.5n
并且半导体的主要材料是硅,然而硅原子直径大约是0.12n
10个硅原子排成一列的程度大约为1.2n所以想再突破3n光刻机,那就涉及到了操纵原子的境界。
或者再重新找到合适的波长,对于euv光刻机,3n目前的最大极限。
所以即使国外能造出5n光刻机,对于3n光刻机也无从下手。
这也是华国最好赶超的时候,大家都做不出来,那就等我们一点一点赶上来。
没想到就在今天,华国直接一跃从22n到令国外头疼的3n
这如何不让人激动!
在他们测试的时候,已经有一队兵哥将研究室围的密不透风,一只苍蝇都别想飞出去。
路过的研究员看到这个场面一惊,这是发生什么事了?
之前22n刻机项目成功的时候也没有这种阵仗啊。
他们光电所最近也没听说有什么大项目啊?
有的人仔细回想,东拼西凑你一句我一句,终于想起这个研究室是林曦月他们项目。
意识到什么,众人的脸色微变,看向那个被围的里三层外三层的研究室,心里有了一个大胆的想法。
难道林院士他们的项目有进展了?
但是不管他们怎么好奇,却是连那个研究室都不敢靠近。
大家都是有经验的老人,这个时候凑上去不是等着被怀疑吗。
研究室里,罗甘跟徐院士还在爱不释手的摸着光刻机。
“不愧是3n光刻机,看着就是不一样啊...”
林曦月笑着摇摇头,也没有去打扰他们,开始跟严谨等人整理数据。
因为光刻机涉及到的零件实在太多,他们都是边研究边整理资料。
现在关于它内部的资料跟各种数据指标叠起来都有三十米高。
也幸好他们是边研究边整理资料,不然这些资料全部堆积在一起,有够他们磨的。
等罗甘他们稀罕够了,才舍得从光刻机身上离家。.
“林院士?那咱们下一步...”
他双眼亮晶晶的看着林曦月问道,没等林曦月回答又接着说道:“是不是考虑生产的问题?”
一旁的徐院士同样点点头说道:“虽说光刻机出世,但是距离生产还有一段距
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