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一变,他当然知道这个协定!
这个小小的光刻机,将来也有可能卡咱们的脖子!
“卫董,你不会也想研发光刻机吧?”看着卫向东凝重的神色,倪光南突然冒出一句。
卫向东无奈笑了。
“我倒是想啊,问题现在el-9正在研发的紧要关头,咱们哪里有时间和精力?”
这倒也是......
倪光南听了点点头,对于光刻机他还是比较了解的,现在光刻机的光源波长被卡死在193n成为了摆在全世界面前的一道难关。
雕刻东西,花样要精细,刀尖就得锋利,但是要如何把193n光波再“磨”细呢?全世界大半个半导体业界都参与进来,分两队人马跃跃欲试。
尼康等公司主张用在前代技术的基础上,采用157nF2激光,走稳健道路。
新生的EUVLLC联盟则押注更激进的极紫外技术,用仅有十几纳米的极紫外光,刻十纳米以下的芯片制程。
这个联盟中的名字个个如雷贯耳:除了英特尔和牵头的美国能源部以外,还有摩托罗拉、AMD、IBM,以及能源部下属三大国家实验室:劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室,双方竞争的如火如荼。
但技术都已经走到这地步,不管哪一种方法,做起来其实都不容易。
一没技术二没人才的国内企业想去参与竞争,何谈容易?
卫向东陷入沉默,不知道在想什么,突然冒出一句:“倪院士,你对荷兰的ASML了解吗?”
倪光南一愣:“听过这家公司,也在研发光刻机,不过和尼康佳能等相比,规模还比较小。”
“潜龙之源啊......”卫向东喃喃说了句。