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14纳米的失败品。
至于系统为什么会说X射线光刻机光刻机生产效率慢到没有朋友。
一台DUV每天能处理94片12寸晶圆，EUV光刻机最高每天能处理3600片，X射线光刻机每天最多只能处理33片12英寸的晶圆。
拿EVU光刻机来跟X射线光刻机来做对比，EUV光刻机的产能是X摄像光刻机的109倍。
也就是说需要109台X射线光刻机才能跟一台EUV光刻机相比。
不过一台X射线光刻机成本只需要60万软妹币，一台EUV光刻机却需要10亿软妹币，如果是设备成本的话一台EUV光刻机是X射线光刻机的1700倍。
换算下来X射线光刻机还是比EUV光刻机光刻机便宜的。
犹豫过后韩琛还是决定研发X射线光刻机，都花了一个亿购买X射线光刻机的技术了，还差这1000亿的研发费吗？
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