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他们是怎么也想不到,这个时候林国栋朝他们开刀了。
只见林国栋说道:“王宇、卢青,说说你们有哪些改善方案。”
王宇和卢青愣住了,怎么问起我们了?我们两个就是管曝光前后处理的?这不一向都是无尘室的事吗?
卢青说道:“多测蚀刻出来的线宽、线距……增加清洁挡水轮的频率。”
林国栋没有说话,用下巴指了指王宇。
王宇急了,本来曝光前后处理就没什么可以改善的,两个要点被卢青说出来,这下他是真没什么可以说的了,支支吾吾说道:“嗯……暂时……没有别的可以……改善的方案。”
“每天的良率报表上都有很多残铜,依我看,这就是蚀刻机没有保养到位。每次问你们怎么改善,你们都是用一些‘加强"、‘增加"的词搪塞我,然而,这么久过去,也没见改善后的效果。从明天开始,你们每天这个时候都要报告残铜的数量。”林国栋说道。